浓度测定控制装置、自动控制、诊断控制装置等各种生产Line装置的研发、提案

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SEEDA-SI

适用领域

本装置通过对晶体硅蚀刻加工液中的游离硝酸・游离醋酸・游离氢氟酸浓度及蚀刻反应生成的氟硅酸浓度进行实时的测量，并将反应中的有效成分游离硝酸・游离醋酸・游离氢氟酸浓度控制在设定的浓度值范围内，从而实现大幅削减药液用量，保证加工品质的效果。

浓度测定控制部

控制方式 CPU控制方式 测定方式 特殊中和滴定法 测定范围 游离硝酸／0～40％ 游离醋酸／0～40％ 游离氟酸／0～20％ 最短测定周期 15min/3成分测定 测定精度 硝酸/测定值±0.2％以下 醋酸/测定值±0.3％以下 氟酸/测定值±0.4％以下 控制对象数 最大3Line控制可能 显示器 彩色液晶触摸屏 数据输出 4～20mＡ（３点）

药液计量补给部

泵控制方式 脉冲控制方式 计量泵形式 防腐隔膜型 计量控制范围 0～300ml/min 样液循环 泵形式 磁力泵型 计量泵搭载数 3台 样液循环 泵搭载数 １台

试剂格纳部

格納物 测定试剂 液位监视方式 光学式液位传感器