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液晶/半导体/其他电子部品生产Line

SEEDA-ITO

适用领域

本装置通过测量氯化铁系ITO蚀刻液中的游离盐酸与铁浓度,并将游离盐酸与铁浓度控制在设定的浓度值范围内,从而大幅削减蚀刻液用量,保证加工品质。此外,也适用于草酸系,王水系蚀刻液的浓度测定。

王水系

SEEDA-ITO
浓度测定原理 中和滴定法测定方式
装置型式 SEEDA-ITO
测定成分名 盐酸/硝酸
测定范围 盐酸/0~30.00wt%(可变更)
硝酸/0~10.00wt%(可变更)
测定精度 盐酸/测定值±0.20wt%以下
硝酸/测定值±0.10%以下
补给控制药液 高浓度盐酸/硝酸

盐铁系

检出器 电位差检出器
装置型式 SEEDA-ITO
测定成分名 游离盐酸/三价氯化铁
测定范围 游离盐酸 0~30.00wt%(可变更)
三价氯化铁 0~50.00wt%(可变更)
测定精度 游离盐酸 测定值±0.05wt%以下
三价氯化铁 测定值±0.20%以下
补给控制药液 高浓度盐酸

草酸系

SEEDA-ITO
検出器 高感度导电度计
装置型式 SEEDA-ITO
测定范围 0~5.00wt%(可变更)
测定精度 3.40wt%±0.05wt%以下

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